名词解释:单频准分子激光

2005/10/8/14:29
     单频准分子激光,是脉冲气体激光,在电流通过时被激活,释放出某一波长的单色光。气体是由惰性气体和卤素混合而成,激活的惰性气体和卤素可形成卤化物 “Excimer”一词来自激态分子的意思,即受激态准分子是一种激态二聚体“Excimer Dimer”,这两个单词组合成 “Excimer”。

    目前应用的单频准分子激光主要有以下几种:氩氟(ArF)准分子激光 波长193 nm;氪氟(KrF)准分子激光 波长248 nm;氙氯(XeCl)准分子激光 波长308 nm; 氙氟(XeF)准分子激光 波长351 nm等。单频准分子激光是连续的脉冲气体激光,释放的光波长在紫外线范围内,脉冲宽度为10~30 ns,频率为0~35 Hz,4种单频准分子激光的波长为气体特异性的。
















 

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