激光在微细加工中的应用

2009/2/17/9:32来源:中国激光网
    90年代初,随着微机械制造技术和微型机电系统MEMS(Micro Electric Mechanical System)的研究与应用,激光加工的新兴分支,“激光微加工”正在蓬勃的兴起。激光微加工一般是指特征尺寸小于100μm的加工,是微机械制造的一种主要加工技术。 

    激光加工的实质是激光将能量传递给被加工材料,被加工材料发生物理或化学变化,使其达到加工的目的。激光微细加工工艺既能加工出较为复杂的微型结构,且所要求的条件又不像异性刻蚀和LIGA技术那么苛刻,在实验室和工厂较容易实现,又由于激光具有高时间及高空间分辨率,使之有可能在需要高精密加工的场合(如电子、半导体、通讯等行业)得到进一步推广和应用,所以激光微细加工向普通微机械加工提出了巨大的挑战。 
















 

版权所有©中国激光网-慧聪网激光频道 粤ICP证B2-20040573
广告及业务联系:QQ 4793947 E-mail
咨询热线:0769-22771942、22771943 传真:0769-22771946